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全新半导体技术宣布!5nm产能飙升600%

作者:admin 发布时间:2020-06-05

荷兰ASML公司是目前全球唯一EUV光刻机供应商,7nm制程工艺的芯片都要使用ASML的设备,现在他们又带来了一项全新的设备,适用于5nm及更先进的工艺,提升生产效率。

日前,ASML宣布,已完成第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的系统集成和测试,可用于5nm及更先进的工艺,相比单个电子束检查工具,eScan1000拥有九个光束,可让产能提升600%。

据悉,eScan1000是基于HMI多光束技术的检测系统,包括一个电子光学系统,该系统能够创建和控制多个一次电子小束,然后收集和处理所产生的二次电子束,将电子束与电子束的串扰限制在2%以下,并提供一致的成像质量。

同时它还具有一个高速平台以提高系统的整体吞吐量,以及一个高速计算架构来实时处理来自多个电子束的数据流。从而实现物理缺陷检查和电压对比检查,减少晶圆质量分析所用的时间。

此外,eScan1000拥有专门的芯片,用以检测数据库缺陷检测功能,使得芯片制造商能够使用晶圆打印检查来监视EUV的缺陷,这一点在单束解决方案上需要大量时间,而多个电子束很快就能完成。

目前第一个eScan1000已于本周交付客户进行测试验证,未来还会推出大量多光束测试设备满足客户对先进工艺的需求。

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